照明光学半导体行业
光学的技术先锋
半导体技术在高科技领域,我们的主要重点是照明光学芯片生产。这些大,特别是精确光学透镜组件和镜子在紫外线和EUV工作范围。由于他们不同寻常的特性,他们为许多其他市场铺平了道路。
“这并没有太大的主流报道,但背后的技术极端紫外线(EUV)光刻系统终于启动批量生产在全球芯片制造设施应该被视为现代工业时代的一个奇迹。”
光子学的消息,2019年10月18日,optics.org
设计设置照明光学芯片生产
质量要求在照明光学芯片生产是巨大的。为了产生EUV系统,在市场上的价格从1亿美元开始,下面是所需的设计设置:
这些高精度透镜组件设置期间,单个镜头元素对齐两个细胞,彼此的帮助下对中测试。验证图像的质量通过一个MTF或波前进行测试。
光学的大小使它特别难改变之间的不同的测量系统。出于这个原因,测量系统的集成在一个高效的工作过程是极其重要的。
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